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単層カーボンナノチューブと銅の複合材料で微細配線加工に成功

2014年1月23日

当チームで開発しましたCNT銅複合材料を微細加工する技術を開発しました。基板上で1 ミクロン以下の配線加工が可能です。詳しくは以下のページをご覧ください。

単層カーボンナノチューブと銅の複合材料で微細配線加工に成功
-高電流に耐える高機能小型電子デバイスの配線が可能に-