研究設備 2

ガス分析FTIR
ガス分析FTIR
レーザー描画
レーザー描画
大型スパッタ装置
大型スパッタ装置
TG
TG
RIE
RIE

走査型原子間力顕微鏡
合成炉F1
合成炉F1
合成炉F1dash
合成炉F1dash
合成炉F3
合成炉F3
合成炉I2
合成炉I2
合成炉I4
合成炉I4
合成炉I5
合成炉I5